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姜昭節往曲旭清身邊走了兩步,一位大牛正舉著實驗數據,向他確認一個光刻機物鏡的數據差。
劉佳寧瞧見姜昭節聽得認真,也走了過去。
“這是在說物鏡數據的誤差?哦,是最後那幾次試驗的結果啊。”她壓低了聲音,“這個誤差和咱們公司用的鏡片質量有些關係。鏡片加工和鍍膜水平都不是頂尖,導致圖形出現一部分扭曲。”
光刻機的作用是將設計好的晶片線路圖,通過一系列手段完全等比例縮小,從而完美地刻在矽片上。
兔國的線路圖設計水平位於世界前列,但一直無法製造高端光刻機,基本依賴進口。
這其中,原因有很多,也包括光刻機的物鏡系統不能自主生產。
姜昭節擰起眉頭,神色有些凝重,劉佳寧愣了一下,誤會他沒明白自己的意思,於是進一步解釋。
“物鏡系統的作用,姜總你知道的吧?補償光學誤差,並等比例縮小線路圖。這個需要非常高的精度來避免圖像變形,所以和平時見到的什麼顯微鏡、望遠鏡的鏡片是有區別的。”
包括材質、鍍層什麼的,要求都更加嚴苛。
姜昭節點點頭,也壓低了聲音:“但星維現在使用的物鏡,已經是國內能買到的最好的了。是直接從實驗室出來的。”
劉佳寧一驚,再次對姜昭節廣闊的人脈嘆為觀止,邊上那位大牛聽到,也驚奇側目。
“小友辛苦了。”大佬和藹地道,“你有這個心,還盡了這個力,實在是難得。”
姜昭節忙謙虛了幾句。
大佬搖搖頭,很是真心地誇讚了姜昭節一會,轉頭看向劉佳寧:“小劉啊,你過來看。看出來什麼了嗎?”
劉佳寧走上前去,看著大佬指出的幾處數據,疑惑道:“這幾組數據……好像都有點偏高了。”
大佬讚許道:“你們這個研究成果,可了不得,最終能源轉換效率提升了不少。”
光刻機能耗非常恐怖,因為經過多次反射,能源轉換效率不足0.02%,為了完成最後的工序,自然要加大能量提供。
劉佳寧他們研發的新技術,能夠有效縮短光的反射路程,減少過程中的能量損耗,折合過去,就是每天大量減少電力消耗,同時還降低了光刻機本身的製造難度,理所當然得到大佬的高度讚揚。
大佬笑道:“畢竟是個新技術,目前不夠穩定,對物鏡系統要求也比較高,確實有些隱患。”
他又翻出幾個數據,招呼劉佳寧和曲旭清看。
兩人把著重提出來的數據匯總分析,很快意識到,由於對物鏡系統要求過高,這項技術很可能會影響整個光刻機的溫控設備。
劉佳寧恍然大悟,還對姜昭節解釋道:“這應該就是我本能覺得不對的地方了。咱們公司的實驗室,沒有單獨測量物鏡溫度的設備,我倒是疏忽了這一塊的問題。”
目前對於調控縮放線路圖的光路,比較先進的方法是控制透鏡和反射鏡的溫度。
新技術可以縮短晶片製程,雖然減少一定能耗,但每單位路程上,光束更加集中,導致單位體積內熱量增高,必然影響溫控設備的使用和調節。
曲旭清琢磨著道:“看來得增加一個補償校正溫度的設備。”
劉佳寧:“溫度控制器?以目前國內的物鏡生產水平,恐怕得加大功率的才有效。”
姜昭節隨口道:“什麼樣算大功率?如果功率過大,會不會這項技術能夠減少的能耗?”
劉佳寧和曲旭清同時皺起眉頭:“這個要測定一下,還不好說。”
但如果溫控設備的消耗超過了新技術節約的能耗,那這項技術……
有不如沒有。
兩人忍不住發愁,辛辛苦苦好幾年,好不容易拿出了優秀的成果,如果這個問題無法解決,那技術就只能是技術,永遠無法應用到實際中。
更無法產生效益。
星維前前後後砸了好幾個億在半導體項目上,如今剛看到一點成功的希望,要是真遭遇這麼嚴重的問題,別說回本了,投資不算完全打了水漂,那都是理想狀態了!
這麼恐怖的虧損,只怕要讓姜昭節寒心的!
曲旭清很想回報姜昭節,沒想到技術存在這麼大的隱患,當場就懵了。
劉佳寧也很頭疼,開始考慮研發能耗小一點的溫度控制設備。
但她不是這方向的專業人才,一時間竟找不到頭緒,只能束手無策地站在原地,連安慰的話都說不出來。
另一位大佬聽了全程,倒是咦了一聲:“這個需求……我記得老趙你那個徒弟,前段時間好像找到了一個新鍍層材料還是新物鏡材料來著?”
被稱作老趙的大佬從另一邊走過來,疑惑道:“什麼?你說孟小子那個雞肋的物鏡材料嗎?”
他是材料方面的頂級專家,手底下有不少學生,但能被稱為徒弟的天才一共就兩個。
其中年紀比較小的那個,幾個月前才發現一種製造物鏡的新材料,造價比傳統的材料略低一些,並能讓物鏡系統對溫度不那麼敏感,除此之外,對於精確度、反射率、減少發熱、降低鏡片打磨難度等等方面都沒有太大好處,直接就被這位大佬稱為雞肋中的雞肋。